Kinco手持式触摸屏在单晶炉应用

一、行业背景

单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。硅料经加工得到高纯度多晶硅，将多晶硅置入单晶炉中，可生长得到单晶硅。单晶炉制备单晶硅是半导体工艺的第一道工序，得到的单晶硅用来制造硅片，因此单晶炉在半导体产业中具有重要作用。

单晶硅可采用区熔法、直拉法进行制备，直拉法可生长高纯度单晶硅，可应用在半导体产业中，是主流制备工艺。全球半导体产业不断发展壮大，单晶炉市场需求随之不断增长，2021年，市场规模约为128亿元。我国半导体产业发展极为迅速，晶圆厂建设兴起，生产线不断增多，拉动市场对高纯度单晶硅需求快速上升。在此背景下，我国单晶炉行业迎来发展机遇。

二、工艺介绍

如上图所示，单晶炉有着较为复杂的一套操作工艺流程，对坩埚提升旋转与定位，炉体主副室升降与旋开，热屏的升降等各种操作都需要在触摸屏上完成，同时单晶炉设备较高，操作人员需爬高一边观察设备情况一边操作触摸屏画面，对此，一个可移动的操作手柄显得至关重要。

另外在移动操作过程中，单晶硅都极其昂贵，在各工序操作中如有异常需要具有紧急停止功能，避免更大经济损失，所有的操作日志等都需要记录下来形成历史报表好供事后追溯。

同时单晶炉设备因为控制较为复杂，工序繁多，常使用大中型品牌PLC，西门子，倍福等，所以对于触摸屏还需支持大中型PLC的标签通讯让工程制作起来更加方便快捷。

三、步科解决方案

1.基本规格：7"TFT，800×480像素，1677万真彩色；

2.标准配置：10个可编程功能键，1个三选择开关、1个急停开关适用于安全性要求较高的场合；

3.实用设计：兼备按键和触控，应用场合更广，选择更灵活；

4.使用耐久：移动操作手持终端标配5米电缆(10、15米可选),线缆可选柔性弹簧线，寿命长；

5.简单安装：支持VESA标准(75×75mm孔距)支架、挂架安装，方便操作工携带。

四、方案特点

1.手持屏产品设计，触摸屏设备可自由移动，方便调试；

2.自带急停开关，确保安全可靠；

3.触摸屏面板配置多个可编程按键，灵活应用，操作更加便利 ；

4.支持西门子，倍福等大中型PLC标签通讯协议，组态开发效率更加高效；

5.支持操作日志记录，数据采样，生成报表曲线，支持导出数据表格文件。

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